Экспериментальное исследование импульсно-периодической ионной и плазменной обработки различных материалов с использованием непрерывной вакуумной дуги

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia.— 2002.— С. 571-577
מחבר ראשי:	Рябчиков И. А.
מחברים אחרים:	Рябчиков А. И. Александр Ильич
סיכום:	Рез. англ. Показано, что для нанесения адгезионно-прочных покрытий на диэлектрики, полупроводники и проводящие материалы могут быть использованы как метод короткоимпульсной плазменно-иммерсионной имплантации (ПИИ) с использованием одно- и двухполярных генераторов с высоким (0,3-0,66) заполнением импульсов при потенциалах смещения ≥1000 В, так и ионное перемешивание нарастающего покрытия пучком, формируемом в источнике при ускоряющем напряжении 20 кВ и fτ>3,2×10-2. Короткоимпульсная, но высокочастотная ПИИ в условиях непрерывной генерации плазмы вакуумно-дуговым испарителем энергетически более предпочтительна по сравнению с длинноимпульсной (200 мкс) ПИИ, также как и в сравнении с осаждением покрытия в условиях импульсно-периодического ионного перемешивания с использованием источника ионных пучков и плазмы "Радуга-5". Оба исследованных варианта исключают значительное накопление заряда в диэлектриках в начале процесса осаждения покрытия и эрозию покрытия из-за появления катодных пятен. Это означает, что применение этих методов в отдельности или совместно в технологич. установках позволяет упростить и не использовать достаточно сложные и малоэффективные дугогасящие устройства В фонде НТБ ТПУ отсутствует
שפה:	רוסית
יצא לאור:	2002
נושאים:	труды учёных ТПУ
פורמט:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599339