Экспериментальное исследование импульсно-периодической ионной и плазменной обработки различных материалов с использованием непрерывной вакуумной дуги
| Parent link: | 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia: proceedings. С. 571-577.— , 2002 |
|---|---|
| Huvudupphovsman: | |
| Övriga upphovsmän: | |
| Sammanfattning: | Рез. англ. Показано, что для нанесения адгезионно-прочных покрытий на диэлектрики, полупроводники и проводящие материалы могут быть использованы как метод короткоимпульсной плазменно-иммерсионной имплантации (ПИИ) с использованием одно- и двухполярных генераторов с высоким (0,3-0,66) заполнением импульсов при потенциалах смещения ≥1000 В, так и ионное перемешивание нарастающего покрытия пучком, формируемом в источнике при ускоряющем напряжении 20 кВ и fτ>3,2×10-2. Короткоимпульсная, но высокочастотная ПИИ в условиях непрерывной генерации плазмы вакуумно-дуговым испарителем энергетически более предпочтительна по сравнению с длинноимпульсной (200 мкс) ПИИ, также как и в сравнении с осаждением покрытия в условиях импульсно-периодического ионного перемешивания с использованием источника ионных пучков и плазмы "Радуга-5". Оба исследованных варианта исключают значительное накопление заряда в диэлектриках в начале процесса осаждения покрытия и эрозию покрытия из-за появления катодных пятен. Это означает, что применение этих методов в отдельности или совместно в технологич. установках позволяет упростить и не использовать достаточно сложные и малоэффективные дугогасящие устройства В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Språk: | ryska |
| Publicerad: |
2002
|
| Ämnen: | |
| Materialtyp: | Bokavsnitt |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599339 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 599339 | ||
| 005 | 20250417140301.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\tpu\23356 | ||
| 035 | |a RU\TPU\tpu\23355 | ||
| 090 | |a 599339 | ||
| 100 | |a 20130617d2002 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Экспериментальное исследование импульсно-периодической ионной и плазменной обработки различных материалов с использованием непрерывной вакуумной дуги |f И. А. Рябчиков, А. И. Рябчиков | |
| 300 | |a Рез. англ. | ||
| 320 | |a Библиогр.: 15 назв. | ||
| 330 | |a Показано, что для нанесения адгезионно-прочных покрытий на диэлектрики, полупроводники и проводящие материалы могут быть использованы как метод короткоимпульсной плазменно-иммерсионной имплантации (ПИИ) с использованием одно- и двухполярных генераторов с высоким (0,3-0,66) заполнением импульсов при потенциалах смещения ≥1000 В, так и ионное перемешивание нарастающего покрытия пучком, формируемом в источнике при ускоряющем напряжении 20 кВ и fτ>3,2×10-2. Короткоимпульсная, но высокочастотная ПИИ в условиях непрерывной генерации плазмы вакуумно-дуговым испарителем энергетически более предпочтительна по сравнению с длинноимпульсной (200 мкс) ПИИ, также как и в сравнении с осаждением покрытия в условиях импульсно-периодического ионного перемешивания с использованием источника ионных пучков и плазмы "Радуга-5". Оба исследованных варианта исключают значительное накопление заряда в диэлектриках в начале процесса осаждения покрытия и эрозию покрытия из-за появления катодных пятен. Это означает, что применение этих методов в отдельности или совместно в технологич. установках позволяет упростить и не использовать достаточно сложные и малоэффективные дугогасящие устройства | ||
| 333 | |a В фонде НТБ ТПУ отсутствует | ||
| 463 | |t 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia |o proceedings |v С. 571-577 |d 2002 | ||
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 700 | 1 | |a Рябчиков |b И. А. | |
| 701 | 1 | |a Рябчиков |b А. И. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1950- |g Александр Ильич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20110714 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20130617 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 942 | |c BK | ||