Развитие методов импульсно-периодической ионной имплантации и нанесения покрытий на основе вакуумной дуги в НИИ ЯФ при ТПУ

Развитие методов импульсно-периодической ионной имплантации и нанесения покрытий на основе вакуумной дуги в НИИ ЯФ при ТПУ

書誌詳細
Parent link:	6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia: proceedings. С. 221-227.— , 2002
第一著者:	Рябчиков А. И. Александр Ильич
その他の著者:	Степанов И. Б. Игорь Борисович
要約:	Рез. англ. The analysis of the present state-of-the-art and development trends of the new methods being developed in the NPI at TPU for pulsed and dc vacuum arc-based ion and plasma materials processing are presented. The regularities and advantages are demonstrated for the method of repetitively-pulsed multi-element implantation with changing an ion beam composition from pulse to pulse or periodically, method of high-concentration implantation with compensation of surface ion sputtering by plasma deposition, method of metallic plasma deposition under repetitively-pulsed ion mixing with ion beams and plasma flow formed in the "Raduga-5" source, and method of metal plasma-immersion implantation from including short-pulse rf implantation using repetitively-pulsed and dc vacuum arc В фонде НТБ ТПУ отсутствует
出版事項:	2002
主題:	труды учёных ТПУ
フォーマット:	図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599338

類似資料

Экспериментальное исследование импульсно-периодической ионной и плазменной обработки различных материалов с использованием непрерывной вакуумной дуги
著者:: Рябчиков И. А.
出版事項: (2002)

Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов
著者:: Рябчиков А. И. Александр Ильич
出版事項: (1992)

Совмещение технологий ионной имплантации и плазменного осаждений покрытий
著者:: Дегтярев С. В.
出版事項: (1996)

Применение тангенциального магнитного поля и импульсно-периодического потенциала смещения для подавления медных макрочастиц вакуумной дуги
著者:: Рябчиков А. И. Александр Ильич
出版事項: (2016)

Многокомпонентные ионные пучки на основе вакуумной дуги
著者:: Рябчиков А. И. Александр Ильич
出版事項: (1994)

Возможности определения радиоактивных элементов на исследовательском комплексе "Ядерный реактор" ГНУ НИИ ЯФ при ТПУ
出版事項: (2004)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность
出版事項: (2022)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
著者:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
著者:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец.01.04.20
著者:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
著者:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
出版事項: (Томск, 2015)

ТРЭК - установка для получения плотных релятивистских колец в НИИ ЯФ ТПИ
出版事項: (1975)

Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
著者:: Брюхов В. В.
出版事項: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.20
著者:: Степанов И. Б. Игорь Борисович
出版事項: (Томск, 2010)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.20
著者:: Степанов И. Б. Игорь Борисович
出版事項: (Томск, Изд-во ТПУ, 2010)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.20
著者:: Степанов И. Б. Игорь Борисович
出版事項: (Томск, 2010)

Механизм генерации аномальных ионов вакуумной дуги
著者:: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
出版事項: (2002)

Технологический источник "Радуга-5" для ионной имплантации, плазменного осаждения покрытий и комбинированной ионно-плазменной обработки материалов
著者:: Рябчиков А. И. Александр Ильич
出版事項: (1996)

Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов
出版事項: (2024)

Влияние ионной имплантации на стойкость Томала-10
著者:: Ретюнский О. Ю.
出版事項: (2000)

Формирование интерметаллидных слоев при высокоинтенсивной ионной имплантации
出版事項: (2001)

Изменение поверхностных свойств изоляторов после ионной имплантации
著者:: Лебедь К. В.
出版事項: (2008)

Влияние ионной имплантации на стойкость томала-10
著者:: Ретюнский О. Ю.
出版事項: (2000)

Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации
著者:: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
出版事項: (2015)

Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации
著者:: Демидов В. Н. Валерий Николаевич
出版事項: (2012)

Фундаментальные вопросы ионной имплантации материалы III Всесоюзной школы, 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата
出版事項: (Алма-Ата, Наука, 1987)

О величине катодного падения потенциала вакуумной дуги
著者:: Литвинов Е. А.
出版事項: (1990)

О механизме самоподдержания катодного пятна вакуумной дуги
出版事項: (1985)

Эктонный механизм генерации ионных потоков вакуумной дуги
著者:: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
出版事項: (2001)

Эктонный механизм генерации ионных потоков вакуумной дуги
著者:: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
出版事項: (2001)

Исследование явлений вблизи нуля тока вакуумной дуги
著者:: Хоанг Туан Ань
出版事項: (2010)

Методы нанесения покрытий учебное пособие
著者:: Синани И. Л.
出版事項: (Пермь, ПНИПУ, 2008)

НТБ ТПУ в периодической печати
出版事項: (Томск, [Б. и.], [Б. г.])

Способ нанесения композиционных покрытий
出版事項: ()

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий
著者:: Майер Д. Н.
出版事項: (2012)

Влияние ионной имплантации инструмента на вид образующейся стружки
著者:: Ласуков А. А. Александр Александрович
出版事項: (2005)

Дислокационная структура в крупнозернистой меди после ионной имплантации
出版事項: (1996)

Возможности повышения эффективности алмазного инструмента методом ионной имплантации
著者:: Некрасова Т. В.
出版事項: (2008)

Управление видом стружки посредством ионной имплантации инструментальной поверхности
著者:: Ласуков А. А. Александр Александрович
出版事項: (2005)

Модификация поверхностных слоёв титана при ионной имплантации алюминия
出版事項: (2003)