Развитие методов импульсно-периодической ионной имплантации и нанесения покрытий на основе вакуумной дуги в НИИ ЯФ при ТПУ; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
| Parent link: | 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia.— 2002.— С. 221-227 |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | |
| Sumari: | Рез. англ. The analysis of the present state-of-the-art and development trends of the new methods being developed in the NPI at TPU for pulsed and dc vacuum arc-based ion and plasma materials processing are presented. The regularities and advantages are demonstrated for the method of repetitively-pulsed multi-element implantation with changing an ion beam composition from pulse to pulse or periodically, method of high-concentration implantation with compensation of surface ion sputtering by plasma deposition, method of metallic plasma deposition under repetitively-pulsed ion mixing with ion beams and plasma flow formed in the "Raduga-5" source, and method of metal plasma-immersion implantation from including short-pulse rf implantation using repetitively-pulsed and dc vacuum arc В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2002
|
| Matèries: | |
| Format: | Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599338 |
Ítems similars
Экспериментальное исследование импульсно-периодической ионной и плазменной обработки различных материалов с использованием непрерывной вакуумной дуги; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
per: Рябчиков И. А.
Publicat: (2002)
per: Рябчиков И. А.
Publicat: (2002)
Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
per: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Publicat: (1992)
per: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Publicat: (1992)
Оборудование ионной имплантации
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1988)
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1988)
Применение тангенциального магнитного поля и импульсно-периодического потенциала смещения для подавления медных макрочастиц вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 6
per: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Publicat: (2016)
per: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Publicat: (2016)
Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
per: Брюхов В. В.
Publicat: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)
per: Брюхов В. В.
Publicat: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)
Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Publicat: (2022)
Publicat: (2022)
Формирование интерметаллидных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации. Ч. 2. Микроструктура и фазовый состав; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
Publicat: (2002)
Publicat: (2002)
Формирование интерметаллидных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации. Ч. 1. Элементный состав и макроскопические характеристики титана, имплантированного алюминием; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
Publicat: (2002)
Publicat: (2002)
Многокомпонентные ионные пучки на основе вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 37, № 3
per: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Publicat: (1994)
per: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Publicat: (1994)
Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности; Известия вузов. Физика; Т. 68, № 9
Publicat: (2025)
Publicat: (2025)
Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Publicat: (2024)
Publicat: (2024)
Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2015)
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2015)
Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2015)
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2015)
Численное моделирование диффузионных процессов в кремнии при импульсно-периодическом воздействии пучка ионов титана высокой плотности мощности; Физические и физико-химические основы ионной имплантации
Publicat: (2024)
Publicat: (2024)
Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
per: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Publicat: (Томск, 2010)
per: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Publicat: (Томск, 2010)
Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.01.04.20
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2015)
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2015)
Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (Томск, 2015)
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (Томск, 2015)
Возможности повышения эффективности алмазного инструмента методом ионной имплантации; Современные проблемы машиностроения
per: Некрасова Т. В.
Publicat: (2008)
per: Некрасова Т. В.
Publicat: (2008)
Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
per: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Publicat: (Томск, Изд-во ТПУ, 2010)
per: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Publicat: (Томск, Изд-во ТПУ, 2010)
Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
per: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Publicat: (Томск, 2010)
per: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Publicat: (Томск, 2010)
Т. 156 : Ускорители заряженных частиц и радиоэлектроника ускорителей: труды НИИ ЯФ ЭА; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]
Publicat: (Изд-во Томского ун-та, 1969)
Publicat: (Изд-во Томского ун-та, 1969)
Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
per: Черняев А. В. Александр Владимирович
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1990)
per: Черняев А. В. Александр Владимирович
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1990)
Управление свойствами режущей кромки инструмента методом ионной имплантации; Современные техника и технологии
per: Бригадин А. Г.
Publicat: (1997)
per: Бригадин А. Г.
Publicat: (1997)
Управление свойствами режущей кромки инструмента методом ионной имплантации; Современные техника и технологии
per: Бригадин А. Г.
Publicat: (1997)
per: Бригадин А. Г.
Publicat: (1997)
Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Publicat: (2022)
Publicat: (2022)
Изменение поверхностных свойств изоляторов после ионной имплантации; Современные техника и технологии; Т. 1
per: Лебедь К. В.
Publicat: (2008)
per: Лебедь К. В.
Publicat: (2008)
9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, 21-21September 2008: proceedings
Publicat: (Tomsk, Publishing house of the IAO SB RAS, 2008)
Publicat: (Tomsk, Publishing house of the IAO SB RAS, 2008)
10th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, 19-24 September 2010: proceedings
Publicat: (Tomsk, TPU Publishing House, 2010)
Publicat: (Tomsk, TPU Publishing House, 2010)
Механизм генерации аномальных ионов вакуумной дуги; Успехи физических наук; Т. 172, вып. 10
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (2002)
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (2002)
Эктонный механизм генерации ионных потоков вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 44, № 9
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (2001)
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (2001)
Эктонный механизм генерации ионных потоков вакуумной дуги; Доклады Академии наук; Т. 380, № 3
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (2001)
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (2001)
О механизмах поддержания эмиссии в катодном пятне вакуумной дуги; Генерация потоков электродуговой плазмы
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (1987)
per: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Publicat: (1987)
Исследование явлений вблизи нуля тока вакуумной дуги; Современные техника и технологии; Т. 1
per: Хоанг Туан Ань
Publicat: (2010)
per: Хоанг Туан Ань
Publicat: (2010)
Использование импульсно-периодической дуги с катодным пятном для генерации электронных и ионных пучков с регулируемым средним током; Письма в Журнал технической физики; Т. 14, вып. 10
Publicat: (1988)
Publicat: (1988)
Дислокационная структура в крупнозернистой меди после ионной имплантации; Физика и химия обработки материалов; № 4
Publicat: (1996)
Publicat: (1996)
Дислокацинные структуры приповерхностных слоев чистых металлов после ионной имплантации; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
Publicat: (1989)
Publicat: (1989)
Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2
per: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Publicat: (2015)
per: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Publicat: (2015)
Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
per: Демидов В. Н. Валерий Николаевич
Publicat: (2012)
per: Демидов В. Н. Валерий Николаевич
Publicat: (2012)
Повышение прочности рабочих поверхностей интструмента методом ионной имплантации; Современные техника и технологии; Т. 1
per: Солдатов А. К.
Publicat: (2008)
per: Солдатов А. К.
Publicat: (2008)
Влияние ионной имплантации инструмента на вид образующейся стружки; Современные техника и технологии; Т. 1
per: Ласуков А. А. Александр Александрович
Publicat: (2005)
per: Ласуков А. А. Александр Александрович
Publicat: (2005)