Развитие методов импульсно-периодической ионной имплантации и нанесения покрытий на основе вакуумной дуги в НИИ ЯФ при ТПУ; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia

Развитие методов импульсно-периодической ионной имплантации и нанесения покрытий на основе вакуумной дуги в НИИ ЯФ при ТПУ

Библиографические подробности
Источник:	6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia.— 2002.— С. 221-227
Главный автор:	Рябчиков А. И. Александр Ильич
Другие авторы:	Степанов И. Б. Игорь Борисович
Примечания:	Рез. англ. The analysis of the present state-of-the-art and development trends of the new methods being developed in the NPI at TPU for pulsed and dc vacuum arc-based ion and plasma materials processing are presented. The regularities and advantages are demonstrated for the method of repetitively-pulsed multi-element implantation with changing an ion beam composition from pulse to pulse or periodically, method of high-concentration implantation with compensation of surface ion sputtering by plasma deposition, method of metallic plasma deposition under repetitively-pulsed ion mixing with ion beams and plasma flow formed in the "Raduga-5" source, and method of metal plasma-immersion implantation from including short-pulse rf implantation using repetitively-pulsed and dc vacuum arc В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Язык:	русский
Опубликовано:	2002
Предметы:	труды учёных ТПУ
Формат:	Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599338

Схожие документы

Экспериментальное исследование импульсно-периодической ионной и плазменной обработки различных материалов с использованием непрерывной вакуумной дуги; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
по: Рябчиков И. А.
Опубликовано: (2002)

Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
по: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Опубликовано: (1992)

Оборудование ионной имплантации
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1988)

Применение тангенциального магнитного поля и импульсно-периодического потенциала смещения для подавления медных макрочастиц вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 6
по: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Опубликовано: (2016)

Формирование интерметаллидных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации. Ч. 2. Микроструктура и фазовый состав; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
Опубликовано: (2002)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Опубликовано: (2022)

Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
по: Брюхов В. В.
Опубликовано: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)

Многокомпонентные ионные пучки на основе вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 37, № 3
по: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Опубликовано: (1994)

Формирование интерметаллидных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации. Ч. 1. Элементный состав и макроскопические характеристики титана, имплантированного алюминием; 6th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: 23-28 September, 2002, Tomsk, Russia
Опубликовано: (2002)

Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Опубликовано: (2024)

Механизм генерации аномальных ионов вакуумной дуги; Успехи физических наук; Т. 172, вып. 10
по: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Опубликовано: (2002)

Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Опубликовано: (2022)

Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
по: Демидов В. Н. Валерий Николаевич
Опубликовано: (2012)

Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2
по: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Опубликовано: (2015)

ТРЭК - установка для получения плотных релятивистских колец в НИИ ЯФ ТПИ; Труды 4-го Всесоюзного совещания по ускорителям заряженых частиц (Москва, 1974); Т. 1
Опубликовано: (1975)

Формирование интерметаллидных слоев при высокоинтенсивной ионной имплантации; 6 Белорусско-Польский симпозиум "Вакуумная техника и технологии"
Опубликовано: (2001)

Эктонный механизм генерации ионных потоков вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 44, № 9
по: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Опубликовано: (2001)

Эктонный механизм генерации ионных потоков вакуумной дуги; Доклады Академии наук; Т. 380, № 3
по: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Опубликовано: (2001)

О величине катодного падения потенциала вакуумной дуги; Доклады Академии Наук СССР; Т. 310, № 2
по: Литвинов Е. А.
Опубликовано: (1990)

О механизме самоподдержания катодного пятна вакуумной дуги; Журнал технической физики; Т. 55, вып. 11
Опубликовано: (1985)

Использование импульсно-периодической дуги с катодным пятном для генерации электронных и ионных пучков с регулируемым средним током; Письма в Журнал технической физики; Т. 14, вып. 10
Опубликовано: (1988)

Дислокационная структура в крупнозернистой меди после ионной имплантации; Физика и химия обработки материалов; № 4
Опубликовано: (1996)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
по: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
по: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2015)

Катодное падение потенциала в эктонном механизме вакуумной дуги; Доклады Академии наук; Т. 351, № 5
по: Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Опубликовано: (1996)

Дислокацинные структуры приповерхностных слоев чистых металлов после ионной имплантации; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
Опубликовано: (1989)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
по: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Опубликовано: (Томск, 2010)

Возможности повышения эффективности алмазного инструмента методом ионной имплантации; Современные проблемы машиностроения
по: Некрасова Т. В.
Опубликовано: (2008)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
по: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубликовано: (Томск, 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.01.04.20
по: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2015)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
по: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2010)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.20
по: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Опубликовано: (Томск, 2010)

Т. 156 : Ускорители заряженных частиц и радиоэлектроника ускорителей: труды НИИ ЯФ ЭА; Известия Томского политехнического института [Известия ТПИ]
Опубликовано: (Изд-во Томского ун-та, 1969)

Модификация поверхности поливинилового спирта и политетрафторэтилена методом ионной имплантации; Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении
по: Лапуть О. А.
Опубликовано: (2016)

Управление свойствами режущей кромки инструмента методом ионной имплантации; Современные техника и технологии
по: Бригадин А. Г.
Опубликовано: (1997)

Управление свойствами режущей кромки инструмента методом ионной имплантации; Современные техника и технологии
по: Бригадин А. Г.
Опубликовано: (1997)

Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
по: Черняев А. В. Александр Владимирович
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1990)

Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)
по: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Опубликовано: (2016)

Изменение изотопного состава меди при ионной имплантации в никель; Известия Российской академии наук. Серия физическая; Т. 66, № 8
по: Пучкарева А. Н.
Опубликовано: (2002)

Установка ионной имплантации на 50 кэВ для упрочнения металлоизделий; Известия вузов. Физика; Т. 30, № 8
Опубликовано: (1987)