Электронный отжиг арсенида галлия, имплантированного ионами кремния; 7 Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике; Ч. 3 - Ардышев В. М.; Мамонтов А. П. Аркадий Павлович; Пешев В. В.; Притулов А. М. Александр Михайлович; Суржиков А. П. Анатолий Петрович (1988, 1988)
Приведены результаты исследования возможности низкотемпературного "электронного отжига", имплантированного ионами кремния, GaAs при использовании мощных импульсных электронных пучков с энергией электронов выше пороговой энергии образования радиационных дефектов в GaAs. Отмечено, что при воздействии на GaAs электронным пучком с энергией электронов 2 МэВ т-ра, при к-рой происходит эл. активация внедренной примеси, существенно понижается