Исследования изменений изотопного состава меди при ионной имплантации в никель; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2001); Т. 2 - Пучкарева Л. Н. (2001, 2001)
Приведены новые эксперим. результаты по изменению изотопного состава меди, имплантированной в поликристаллический Ni со средним размером зерна ~20 мкм. Дозы имплантации 2×1016 и 2×1017 см-2. Послойный элементный анализ имплантированных медью образцов Ni проводился методом МСВИ. Анализ профилей распределения изотопов Cu65 и Cu63 по глубине образца Ni и суммарного профиля Cu65+Cu63 после имплантации дозой 2×1017 ион/см2 в вакууме 5×10-5 Тор показал, что характер распределения изотопов различен: спадающая кривая изотопа 65Cu, и нарастающая - изотопа 63Cu, т. е. в поверхн. слое до ~100 нм происходит накопление изотопа 65Cu. И только после выхода на максимум изотопа 63Cu начинается выравнивание изотопного состава, который приближается к природному соотношению на глубину 250 нм. Характер послойного изменения изотопного состава с увеличением дозы не изменяется, но для более высокой дозы изменения изотопного состава распространяются на большую глубину. Установлено, что максим. нарушения изотопного состава происходят в области максим. потерь энергии имплантированных ионов и накопления концентрации имплантированной меди.