Осаждение фуллереновых пленок из абляционной плазмы, создаваемой при облучении графита мощными ионными пучками
| Parent link: | Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2007): труды 18 Международной конференции, Звенигород, 24-28 августа, 2007 г..— , 2007 Т. 3.— 2007.— С. 239-242 |
|---|---|
| Otros Autores: | , , , |
| Sumario: | Изучено относительное содержание фуллеренов C[60]:C[70], алмазоподобной, кристаллической и аморфной фаз углерода в тонкопленочных покрытиях, полученных из абляционной углеродной плазмы, получаемой с помощью мощного импульсного ионного пучка (60% H{+}, 40% C{+n}, n=1,2; энергия ионов 500 кэВ., длительность импульса 100 нс, максимальная плотность энергии 15 Дж/см{2}). Изменение скорости осаждения пленки регулировалось изменением плотности плазмы и расстояния от мишени до подложки, на которой формировалась пленка. Методом рентгеновской дифракции изучены микроструктура и фазовый состав содержащих фуллерены углеродных пленок. Измерены нанотвердость и модуль Юнга образцов. В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Lenguaje: | ruso |
| Publicado: |
2007
|
| Materias: | |
| Formato: | Capítulo de libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=597212 |
| Sumario: | Изучено относительное содержание фуллеренов C[60]:C[70], алмазоподобной, кристаллической и аморфной фаз углерода в тонкопленочных покрытиях, полученных из абляционной углеродной плазмы, получаемой с помощью мощного импульсного ионного пучка (60% H{+}, 40% C{+n}, n=1,2; энергия ионов 500 кэВ., длительность импульса 100 нс, максимальная плотность энергии 15 Дж/см{2}). Изменение скорости осаждения пленки регулировалось изменением плотности плазмы и расстояния от мишени до подложки, на которой формировалась пленка. Методом рентгеновской дифракции изучены микроструктура и фазовый состав содержащих фуллерены углеродных пленок. Измерены нанотвердость и модуль Юнга образцов. В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
|---|