Структура и механические свойства нанокристаллических покрытий на основе карбидов и нитридов титана и алюминия; Физическая мезомеханика; Т. 7, № Спец2 - Панин В. Е. Виктор Евгеньевич; Сергеев В. П.; Федорищева М. В.; Сергеев О. В.; Воронов А. В. (2004, 2004)
Исследованы состав, структура, микротвердость и износостойкость покрытий на основе TiCxNy и Ti1-xAlxN, осаждаемых с помощью магнетрона постоянного тока в условиях высоких мощностей разряда и низких давлений рабочей газовой смеси. Обнаружено значительное повышение микротвердости и износостойкости покрытий TiCxNy с увеличением отношения парциальных давлений ацетилена к азоту, а покрытий Ti1-xAlxN при увеличении температуры осаждения, которое связывается с изменениями состава и структурных характеристик покрытий