Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Autor Corporativo:	Омский государственный университет
Outros Autores:	Струнин В. И. Владимир Иванович (научный руководитель)
Idioma:	russo
Publicado em:	Омск, 2003
Assuntos:	физика аморфный кремний гидрогенизированный кремний тонкие пленки осаждение газовые разряды аргон-силановая плазма электроны распределение ВЧЕ разряды химический состав моделирование диссертации
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=59646

Registos relacionados