Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Institution som forfatter:	Омский государственный университет
Andre forfattere:	Струнин В. И. Владимир Иванович (научный руководитель)
Sprog:	russisk
Udgivet:	Омск, 2003
Fag:	физика аморфный кремний гидрогенизированный кремний тонкие пленки осаждение газовые разряды аргон-силановая плазма электроны распределение ВЧЕ разряды химический состав моделирование диссертации
Format:	MixedMaterials Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=59646

Lignende værker