|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
59646 |
| 005 |
20231031060346.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\63086
|
| 090 |
|
|
|a 59646
|
| 100 |
|
|
|a 20040122j20031229k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|e Спец. 01.04.08
|f Г. Ж. Худайбергенов
|g Омский государственный университет; науч. рук. В. И. Струнин
|
| 210 |
|
|
|a Омск
|d 2003
|
| 215 |
|
|
|a 154 л.
|c ил.
|
| 229 |
|
|
|a Защищена 29.12.2003
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 139-154 (152 назв.)
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a аморфный кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a гидрогенизированный кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a аргон-силановая плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a электроны
|
| 610 |
1 |
|
|a распределение
|
| 610 |
1 |
|
|a ВЧЕ разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a химический состав
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.08
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Худайбергенов
|b Г. Ж.
|g Гамзат Жапарович
|
| 702 |
|
1 |
|a Струнин
|b В. И.
|g Владимир Иванович
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Омский государственный университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\403
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040122
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230628
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
