Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08

Bibliographic Details
Main Author:	Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Corporate Author:	Омский государственный университет
Other Authors:	Струнин В. И. Владимир Иванович (научный руководитель)
Language:	Russian
Published:	Омск, 2003
Subjects:	физика аморфный кремний гидрогенизированный кремний тонкие пленки осаждение газовые разряды аргон-силановая плазма электроны распределение ВЧЕ разряды химический состав моделирование диссертации
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=59646

Description
Physical Description:	154 л. ил.

Similar Items