Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
| Autor principal: | |
|---|---|
| Autor corporatiu: | |
| Altres autors: | |
| Sumari: | Защита сост. 29.12.2003 г. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Омск, [Б. и.], 2003
|
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=59645 |