Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Korporativní autor: | |
| Další autoři: | |
| Shrnutí: | Защита сост. 29.12.2003 г. |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Омск, [Б. и.], 2003
|
| Témata: | |
| Médium: | Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=59645 |