Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Autor Corporativo:	Омский государственный университет
Otros Autores:	Струнин В. И. Владимир Иванович (научный руководитель)
Sumario:	Защита сост. 29.12.2003 г.
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Омск, [Б. и.], 2003
Materias:	физика аморфный кремний гидрогенизированный кремний тонкие пленки осаждение газовые разряды аргон-силановая плазма электроны распределение ВЧЕ разряды химический состав моделирование авторефераты диссертаций
Formato:	xMaterials Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=59645

Ejemplares similares