Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Bibliographic Details
Main Author:	Яфаров Р. К.
Summary:	В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля. Книга из коллекции ФИЗМАТЛИТ - Физика
Published:	Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009
Subjects:	вакуум (физика) вакуум (электричество) вакуумно-плазменная нанотехнология диффузионный процесс кремниевые структуры математическая теория микроволновые источники плазмы микроволновые устройства наноалмазные кристаллы нанотехнологии нанотехнологии (физика) нанотехнологии свч низкотемпературная плазма плазма (нанонаука) плазма в магнитном поле плазменные технологии плазменные устройства плазмотроны плазмохимический синтез плазмохимическое оборудование плазмохимическое травление сверхвысокие частоты сверхвысокочастотное плазмохимическое травление свч свч газового разряда свч газовый разряд свч плазменные устройства свч энергетика свч-плазма свч-плазмы в магнитном поле травление кремниевых материалов уравнение фоккера-планка-колмогорова физика физика (наноструктуры) физика наноструктурных материалов электромагнитные волны электронный циклотронный резонанс
Online Access:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=59533 https://e.lanbook.com/img/cover/book/59533.jpg
Format:	Electronic Book