Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
| Главный автор: | |
|---|---|
| Примечания: | В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля. Книга из коллекции ФИЗМАТЛИТ - Физика |
| Опубликовано: |
Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=59533 https://e.lanbook.com/img/cover/book/59533.jpg |
| Формат: | Электронный ресурс Книга |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 59533 | ||
| 010 | |a 978-5-9221-1150-8 | ||
| 100 | |a 20200604d2009 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий |b Электронный ресурс |f Яфаров Р. К. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c ФИЗМАТЛИТ |d 2009 | ||
| 215 | |a 216 с. | ||
| 330 | |a В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции ФИЗМАТЛИТ - Физика | ||
| 610 | 0 | |a вакуум (физика) | |
| 610 | 0 | |a вакуум (электричество) | |
| 610 | 0 | |a вакуумно-плазменная нанотехнология | |
| 610 | 0 | |a диффузионный процесс | |
| 610 | 0 | |a кремниевые структуры | |
| 610 | 0 | |a математическая теория | |
| 610 | 0 | |a микроволновые источники плазмы | |
| 610 | 0 | |a микроволновые устройства | |
| 610 | 0 | |a наноалмазные кристаллы | |
| 610 | 0 | |a нанотехнологии | |
| 610 | 0 | |a нанотехнологии (физика) | |
| 610 | 0 | |a нанотехнологии свч | |
| 610 | 0 | |a низкотемпературная плазма | |
| 610 | 0 | |a плазма (нанонаука) | |
| 610 | 0 | |a плазма в магнитном поле | |
| 610 | 0 | |a плазменные технологии | |
| 610 | 0 | |a плазменные устройства | |
| 610 | 0 | |a плазмотроны | |
| 610 | 0 | |a плазмохимический синтез | |
| 610 | 0 | |a плазмохимическое оборудование | |
| 610 | 0 | |a плазмохимическое травление | |
| 610 | 0 | |a сверхвысокие частоты | |
| 610 | 0 | |a сверхвысокочастотное плазмохимическое травление | |
| 610 | 0 | |a свч | |
| 610 | 0 | |a свч газового разряда | |
| 610 | 0 | |a свч газовый разряд | |
| 610 | 0 | |a свч плазменные устройства | |
| 610 | 0 | |a свч энергетика | |
| 610 | 0 | |a свч-плазма | |
| 610 | 0 | |a свч-плазмы в магнитном поле | |
| 610 | 0 | |a травление кремниевых материалов | |
| 610 | 0 | |a уравнение фоккера-планка-колмогорова | |
| 610 | 0 | |a физика | |
| 610 | 0 | |a физика (наноструктуры) | |
| 610 | 0 | |a физика наноструктурных материалов | |
| 610 | 0 | |a электромагнитные волны | |
| 610 | 0 | |a электронный циклотронный резонанс | |
| 675 | |a 533.9 | ||
| 686 | |a 30.61 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Яфаров |b Р. К. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=59533 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/59533.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/59533.jpg | ||