Проблемы микроэлектронной технологии: Сборник статей

Bibliografske podrobnosti
Korporativna značnica:	Физико-технологический институт
Drugi avtorji:	Валиев К. А. (редактор)
Jezik:	ruščina
Izdano:	Москва, Наука, 1994
Serija:	Труды ФТИАН Т. 7
Teme:	микроэлектроника микроэлектронная аппаратура производство сборники
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=58292

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	58292
005	20231031054958.0
010			\|a 502007019X
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\61548
090			\|a 58292
100			\|a 20031127d1994 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Проблемы микроэлектронной технологии \|e Сборник статей \|f Физико-технологический институт; Под ред. К. А. Валиева
210			\|a Москва \|c Наука \|d 1994
215			\|a 75 с. \|c ил.
225	1		\|a Труды ФТИАН \|v Т. 7
320			\|a Библиогр. в конце статей
610	1		\|a микроэлектроника
610	1		\|a микроэлектронная аппаратура
610	1		\|a производство
610	1		\|a сборники
675			\|a 621.382.049.77.002 \|v 3
702		1	\|a Валиев \|b К. А. \|4 340
712	0	2	\|a Физико-технологический институт \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\107
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20031127 \|g PSBO
942			\|c BK