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(2016). Т. 18, № 9; Нано-и микросистемная техника. 2016.

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Т. 18, № 9; Нано-и микросистемная техника. 2016, 2016.

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Т. 18, № 9; Нано-и микросистемная техника. 2016, 2016.

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