|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
56332 |
| 005 |
20231031053331.0 |
| 010 |
|
|
|a 5030003630
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\59164
|
| 090 |
|
|
|a 56332
|
| 100 |
|
|
|a 20030929d1990 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c jap
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Чистые помещения
|e пер. с яп.
|f Под ред. И. Хаякавы
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Мир
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 456 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 439-450
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 451-452
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a оптика
|
| 610 |
1 |
|
|a квантовая электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a чистые помещения
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные компоненты
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a классификация
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Хаякава
|b И.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030929
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150522
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
