Структура и фазовый состав системы хромкремний, модифицированной сильноточными электронными пучками; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 1

Dettagli Bibliografici
Parent link:Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования/ Российская академия наук (РАН) ; Отделение физических наук РАН.— , 1996-.— 0207-3528
№ 1.— 2012.— С. 77
Altri autori: Углов В. В., Квасов Н. Т., Петухов Ю. А., Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович, Тересов А. Д.
Riassunto:Представлены результаты исследований структурно-фазового состояния приповерхностного слоя системы “покрытие хрома–кремниевая подложка”, обработанного низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками длительностью 50–200 мкс с плотностью энергии 15 Дж/см2. Данные растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа и рентгеноспектрального микроанализа выявили образование легированного хромом слоя кремния толщиной 2–38 мкм, формирование обогащенных хромом кремниевых дендритов, дисилицида хрома CrSi2 и аморфного эвтектического слоя (характерный поперечный размер выделений обогащенной хромом фазы 50 нм). Структурно-фазовые превращения обсуждаются с учетом особенностей распределения температуры, диффузионного и конвективного массопереноса в модифицированном слое.
Lingua:russo
Pubblicazione: 2012
Soggetti:
Natura: Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=562594

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 562594
005 20231101123257.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\257946 
035 |a RU\TPU\prd\257944 
090 |a 562594 
100 |a 20160516a2012 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Структура и фазовый состав системы хромкремний, модифицированной сильноточными электронными пучками  |f В. В. Углов [и др.] 
320 |a Библиогр.: 10 назв. 
330 |a Представлены результаты исследований структурно-фазового состояния приповерхностного слоя системы “покрытие хрома–кремниевая подложка”, обработанного низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками длительностью 50–200 мкс с плотностью энергии 15 Дж/см2. Данные растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа и рентгеноспектрального микроанализа выявили образование легированного хромом слоя кремния толщиной 2–38 мкм, формирование обогащенных хромом кремниевых дендритов, дисилицида хрома CrSi2 и аморфного эвтектического слоя (характерный поперечный размер выделений обогащенной хромом фазы 50 нм). Структурно-фазовые превращения обсуждаются с учетом особенностей распределения температуры, диффузионного и конвективного массопереноса в модифицированном слое. 
461 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1685  |x 0207-3528  |t Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования  |f Российская академия наук (РАН) ; Отделение физических наук РАН  |d 1996- 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\132806  |t № 1  |v С. 77  |d 2012 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
701 1 |a Углов  |b В. В. 
701 1 |a Квасов  |b Н. Т. 
701 1 |a Петухов  |b Ю. А. 
701 1 |a Коваль  |b Н. Н.  |c специалист в области электроники  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |f 1948-  |g Николай Николаевич  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831 
701 1 |a Иванов  |b Ю. Ф.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1955-  |g Юрий Федорович  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28208 
701 1 |a Тересов  |b А. Д. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20110627 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160516  |g RCR 
942 |c BK