Структура и фазовый состав системы хромкремний, модифицированной сильноточными электронными пучками; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 1

Bibliographic Details
Parent link:Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования/ Российская академия наук (РАН) ; Отделение физических наук РАН.— , 1996-.— 0207-3528
№ 1.— 2012.— С. 77
Other Authors: Углов В. В., Квасов Н. Т., Петухов Ю. А., Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович, Тересов А. Д.
Summary:Представлены результаты исследований структурно-фазового состояния приповерхностного слоя системы “покрытие хрома–кремниевая подложка”, обработанного низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками длительностью 50–200 мкс с плотностью энергии 15 Дж/см2. Данные растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа и рентгеноспектрального микроанализа выявили образование легированного хромом слоя кремния толщиной 2–38 мкм, формирование обогащенных хромом кремниевых дендритов, дисилицида хрома CrSi2 и аморфного эвтектического слоя (характерный поперечный размер выделений обогащенной хромом фазы 50 нм). Структурно-фазовые превращения обсуждаются с учетом особенностей распределения температуры, диффузионного и конвективного массопереноса в модифицированном слое.
Language:Russian
Published: 2012
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=562594
Description
Summary:Представлены результаты исследований структурно-фазового состояния приповерхностного слоя системы “покрытие хрома–кремниевая подложка”, обработанного низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками длительностью 50–200 мкс с плотностью энергии 15 Дж/см2. Данные растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа и рентгеноспектрального микроанализа выявили образование легированного хромом слоя кремния толщиной 2–38 мкм, формирование обогащенных хромом кремниевых дендритов, дисилицида хрома CrSi2 и аморфного эвтектического слоя (характерный поперечный размер выделений обогащенной хромом фазы 50 нм). Структурно-фазовые превращения обсуждаются с учетом особенностей распределения температуры, диффузионного и конвективного массопереноса в модифицированном слое.