Структурно-фазовые превращения в системе титанкремний, модифицированной сильноточными электронными пучками и компрессионными плазменными потоками; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования/ Российская академия наук (РАН) ; Отделение физических наук РАН.— , 1996-.— 0207-3528 № 4.— 2012.— С. 9
Outros Autores:	Углов В. В., Квасов Н. Т., Петухов Ю. А., Кудактин Р. С., Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович, Асташинский В. М., Тересов А. Д., Кузьмицкий А. М.
Resumo:	Представлены результаты исследований структурно-фазовых превращений в системе “титановое покрытие - кремниевая подложка”, обработанной низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками и компрессионными плазменными потоками длительностью 100 мкс и плотностью энергии 12-15 Дж/см2. В результате исследования методами растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа и рентгеноспектрального микроанализа обнаружено образование легированного титаном слоя кремния толщиной 10-25 мкм, силицидов титана (TiSi2 для воздействия низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками, Ti5Si3 при воздействии компрессионными плазменными потоками), дендритов кремния и игольчатой эвтектики (характерный размер выделений 50 нм). Результаты численного моделирования температурных полей показали, что глубина легированного слоя определяется, главным образом, величиной плотности мощности и неоднородностью теплового потока по поверхности мишени. Термодинамические закономерности фазообразования обсуждаются с учетом теплообмена между зародышами силицидов и кремнием.
Idioma:	russo
Publicado em:	2012
Assuntos:	труды учёных ТПУ
Formato:	Capítulo de Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=562593