Структурно-фазовые превращения в системе титанкремний, модифицированной сильноточными электронными пучками и компрессионными плазменными потоками; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4 - Углов В. В.; Квасов Н. Т.; Петухов Ю. А.; Кудактин Р. С.; Коваль Н. Н. Николай Николаевич; Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович; Асташинский В. М.; Тересов А. Д.; Кузьмицкий А. М. (2012, 2012)
Представлены результаты исследований структурно-фазовых превращений в системе “титановое покрытие - кремниевая подложка”, обработанной низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками и компрессионными плазменными потоками длительностью 100 мкс и плотностью энергии 12-15 Дж/см2. В результате исследования методами растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа и рентгеноспектрального микроанализа обнаружено образование легированного титаном слоя кремния толщиной 10-25 мкм, силицидов титана (TiSi2 для воздействия низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками, Ti5Si3 при воздействии компрессионными плазменными потоками), дендритов кремния и игольчатой эвтектики (характерный размер выделений 50 нм). Результаты численного моделирования температурных полей показали, что глубина легированного слоя определяется, главным образом, величиной плотности мощности и неоднородностью теплового потока по поверхности мишени. Термодинамические закономерности фазообразования обсуждаются с учетом теплообмена между зародышами силицидов и кремнием.