|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
562593 |
| 005 |
20231101123257.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\257944
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\257638
|
| 090 |
|
|
|a 562593
|
| 100 |
|
|
|a 20160516a2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Структурно-фазовые превращения в системе титанкремний, модифицированной сильноточными электронными пучками и компрессионными плазменными потоками
|f В. В. Углов [и др.]
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 10 назв.
|
| 330 |
|
|
|a Представлены результаты исследований структурно-фазовых превращений в системе “титановое покрытие - кремниевая подложка”, обработанной низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками и компрессионными плазменными потоками длительностью 100 мкс и плотностью энергии 12-15 Дж/см2. В результате исследования методами растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа и рентгеноспектрального микроанализа обнаружено образование легированного титаном слоя кремния толщиной 10-25 мкм, силицидов титана (TiSi2 для воздействия низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками, Ti5Si3 при воздействии компрессионными плазменными потоками), дендритов кремния и игольчатой эвтектики (характерный размер выделений 50 нм). Результаты численного моделирования температурных полей показали, что глубина легированного слоя определяется, главным образом, величиной плотности мощности и неоднородностью теплового потока по поверхности мишени. Термодинамические закономерности фазообразования обсуждаются с учетом теплообмена между зародышами силицидов и кремнием.
|
| 461 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1685
|x 0207-3528
|t Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
|f Российская академия наук (РАН) ; Отделение физических наук РАН
|d 1996-
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\142909
|t № 4
|v С. 9
|d 2012
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Углов
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Квасов
|b Н. Т.
|
| 701 |
|
1 |
|a Петухов
|b Ю. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Кудактин
|b Р. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Коваль
|b Н. Н.
|c специалист в области электроники
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Николай Николаевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831
|
| 701 |
|
1 |
|a Иванов
|b Ю. Ф.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1955-
|g Юрий Федорович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28208
|
| 701 |
|
1 |
|a Асташинский
|b В. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Тересов
|b А. Д.
|
| 701 |
|
1 |
|a Кузьмицкий
|b А. М.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110627
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160516
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
