MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 56237
005 20231031053234.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\59064 
090 |a 56237 
100 |a 20030925d1987 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров  |e учебник  |f В. Н. Черняев 
205 |a 2-е изд., перераб. и доп. 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1987 
215 |a 464 с.  |c ил. 
225 1 |a Учебник для высших учебных заведений 
320 |a Библиогр.: с. 455. 
320 |a Предметный указатель: с. 456-460. 
610 1 |a электроника 
610 1 |a интегральные микросхемы 
610 1 |a микропроцессоры 
610 1 |a производство 
610 1 |a технология 
610 1 |a подложки 
610 1 |a полупроводниковые пластины 
610 1 |a легированные слои 
610 1 |a литография 
610 1 |a литографические процессы 
610 1 |a тонкие пленки 
610 1 |a интегральные схемы 
610 1 |a сборка 
610 1 |a монтаж 
610 1 |a герметизация 
610 1 |a биполярные полупроводниковые микросхемы 
610 1 |a гибридные микросхемы 
610 1 |a учебники 
675 |a 621.382.049.77.002(075.8)  |v 3 
675 |a 681.325.5(075.8)  |v 3 
700 1 |a Черняев  |b В. Н.  |g Владимир Николаевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20030925  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20210920  |g PSBO 
942 |c BK