MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 56176
005 20231031053205.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\58985 
090 |a 56176 
100 |a 20030925d1985 k y0rusy50 ca 
101 1 |a rus  |c eng 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление  |e пер. с англ.  |f У. Тилл, Дж. Лаксон 
210 |a Москва  |c Мир  |d 1985 
215 |a 504 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр. в конце глав. 
320 |a Предметный указатель: с. 496-501. 
610 1 |a электроника 
610 1 |a интегральные схемы 
610 1 |a приборы 
610 1 |a материалы 
610 1 |a изготовление 
610 1 |a микроэлектронные схемы 
610 1 |a диффузия 
610 1 |a биполярные транзисторы 
610 1 |a полевые транзисторы 
610 1 |a литография 
610 1 |a гибридные схемы 
610 1 |a испытания 
610 1 |a цифровые микросхемы 
675 |a 621.382.049  |v 3 
700 1 |a Тилл  |b У.  |g Уильям 
701 1 |a Лаксон  |b Дж.  |g Джеймс 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20030925  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150313  |g PSBO 
942 |c BK