|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
56171 |
| 005 |
20231031053159.0 |
| 010 |
|
|
|a 5229010630
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\58980
|
| 090 |
|
|
|a 56171
|
| 100 |
|
|
|a 20030925d1994 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Расчеты процессов полупроводниковой технологии
|e учебное пособие
|f И. А. Соколов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1994
|
| 215 |
|
|
|a 176 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 176.
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a расчеты
|
| 610 |
1 |
|
|a процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Соколов
|b И. А.
|g Игорь Александрович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030925
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170906
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|