|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
56043 |
| 005 |
20231031053056.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\58833
|
| 090 |
|
|
|a 56043
|
| 100 |
|
|
|a 20030924d1984 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология полупроводниковых приборов
|e учебное пособие
|f И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 288 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 287.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a механическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a стабилизация
|
| 610 |
1 |
|
|a защита
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Пичугин
|b И. Г.
|g Игорь Геннадьевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Таиров
|b Ю. М.
|g Юрий Михайлович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030924
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211213
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
