|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
55905 |
| 005 |
20231031052931.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\58686
|
| 090 |
|
|
|a 55905
|
| 100 |
|
|
|a 20030923d1979 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
|e учебное пособие
|f А. И. Курносов, В. В. Юдин
|
| 205 |
|
|
|a 2-е изд., перераб. и доп.
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 367 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 364.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a конструкции
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Курносов
|b А. И.
|g Анатолий Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Юдин
|b В. В.
|g Владимир Васильевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030923
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210902
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
