Микрометаллургия в микроэлектронике; Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
Москва, Металлургия, 1978
|
| Fag: | |
| Format: | Bog |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=55815 |