Микрометаллургия в микроэлектронике Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Idioma:	ruso
Publicado:	Москва, Металлургия, 1978
Subjects:	микроэлектроника микрометаллургия полупроводниковые приборы материаловедение интегральные схемы селективные явления
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=55815

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	55815
005	20231031052804.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\58579
090			\|a 55815
100			\|a 20030922d1978 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Микрометаллургия в микроэлектронике \|a Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении \|f В. Ф. Дорфман
210			\|a Москва \|c Металлургия \|d 1978
215			\|a 272 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 261-270
320			\|a Предметный указатель: с. 269-270.
610	1		\|a микроэлектроника
610	1		\|a микрометаллургия
610	1		\|a полупроводниковые приборы
610	1		\|a материаловедение
610	1		\|a интегральные схемы
610	1		\|a селективные явления
675			\|a 621.382.002 \|v 3
700		1	\|a Дорфман \|b В. Ф. \|g Вениамин Фриделевич
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20030922 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20200812 \|g PSBO
942			\|c BK