Микрометаллургия в микроэлектронике Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Idioma: | ruso |
| Publicado: |
Москва, Металлургия, 1978
|
| Subjects: | |
| Formato: | Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=55815 |
| Descrición Física: | 272 с. ил. |
|---|