Получение тонкопленочных элементов микросхем

Получение тонкопленочных элементов микросхем

Bibliographic Details
Main Author:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Language:	Russian
Published:	Москва, Энергия, 1977
Series:	Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры Вып. 10
Subjects:	микросхемы тонкопленочные элементы получение вакуумные методы испарение ионная бомбардировка аппаратура конденсация распыления радиоэлектроника
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=55765

Similar Items

Разработка режимов изготовления порошковых катодов и технология нанесения ионно-плазменных покрытий: Заключительный отчет о НИР; Тема: х/д 4-29/86
Published: (Томск, 1987)

Нанесение износостойких покрытий на быстрорежущий инструмент
Published: (Киев, Тэхника, 1992)

Технология прроизводства интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Энергия, 1977)

Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем: учебное пособие
by: Мевис А. Ф.
Published: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов: лекции
by: Котенко Г. И. Георгий Иванович
Published: (Ленинград, Изд-во Ленинградского электротехнического института, 1979)

Исследование структуры СВС-пресованных катодов для нанесения износостойких покрытий; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Дурницын К. С.
Published: (2010)

Ионно-лучевые установки
by: Попов В. Ф. Владимир Федорович
Published: (Ленинград, Энергоиздат, 1981)

Получение, свойства и применение тонких металлических пленок: доклады всесоюзной конференции
Published: (Киев, Наукова думка, 1971)

Ионная бомбардировка в вакууме
by: Акишин А. И. Анатолий иванович
Published: (Москва, Госэнергоиздат, 1963)

Методы получения тонкоплёночных покрытий в вакууме; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
by: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Published: (2007)

Рост пленок: учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Наблюдение эффекта Мессбауэра в чистом железе в ходе ионной бомбардировки; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
by: Овчинников В. В.
Published: (2011)

Т. 1; Взаимодействие ионов с поверхностью
Published: (1995)

Т. 2; Взаимодействие ионов с поверхностью
Published: (1995)

Технологическое проектирование микросхем СВЧ: учебное пособие для вузов
by: Бушминский И. П. Игорь Петрович
Published: (Москва, Изд-во МГТУ, 2001)

Справочное пособие по конструированию микросхем
by: Матсон Э. А. Эдуард Альфредович
Published: (Минск, Вышэйшая школа, 1982)

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
by: Зеленин В. А.
Published: (Минск, Белорусская наука, 2022)

Повышение износостойкости гальванических покрытий Au-Ni путем ионной бомбардировки; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Published: (2015)

Deposition of Polycrystalline Diamond Films with a Controlled Grain Size by Periodic Secondary Nucleation; Materials Today: Proceedings; Vol. 3, supl. 2 : Diamond and Carbon Materials - DCM 2014
by: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Published: (2016)

Т. 1; Взаимодействие ионов с поверхностью. ВИП-2003
Published: (2003)

Тонкопленочная технология: пер. с англ.
by: Берри Р.
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий
by: Белевский В. П. Владимир Петрович
Published: (Киев, о-во "Знание" УССР, 1982)

Проектирование гибридных интегральных микросхем учебное пособие
by: Гайнуллина Н. Р.
Published: (Казань, КНИТУ-КАИ, 2022)

Увеличение термоциклической стойкости покрытий на основе Zr-Y-O, полученных методом магнетронного осаждения; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 2: Математика и механика. Физика
Published: (2010)

Моделирование процесса имплантации ионов Al + и B + в покрытие TIN, осажденное на стальную подложку; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 6-3
by: Крюкова О. Н. Ольга Николаевна
Published: (2013)

Разработка технологической установки для получения функциональных тонкопленочных элементов, используемых в солнечных элементах космических аппаратов; "Орбита молодёжи" и перспективы развития российской космонавтики
by: Зинченко Т. О.
Published: (2017)

Modification of Electric Properties of Lithium Niobate Crystals by Ion Bombardment; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Published: (2004)

Влияние локальной кривизны границы раздела "покрытие-подложка" на деформацию и разрушение керамических покрытий при одноосном растяжении; Физическая мезомеханика; Т. 19, № 3
by: Шугуров А. Р. Артур Рубинович
Published: (2016)

Моделирование диффузионных процессов, сопровождающих модификацию покрытия TiN при бомбандировке потоком ионов Al и B; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
Published: (2012)

Improvement of the Wear Resistance of Electroplated Au-Ni Coatings by Zr Ion Bombardment of Ni-B Sublayer; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
Published: (2015)

Физико-химические основы нанесения покрытий: учебное пособие для вузов
by: Палеха Константин Кузьмич
Published: (Киев, Изд-во КПИ, 1992)

Получение и свойства тонкопленочных материалов золь-гель методом на основе TiO[2]-MxOy, где M - Ni, Cu, Zn; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
by: Шымырбек С. Г.
Published: (2018)

Вакуумное модульное оборудование для экологически чистых и ресурсосберегающих технологий. Анализ проблем. Пути решения: Монография
Published: (Красноярск, НИИ СУВПТ, 1999)

Т. 2; Технология тонких пленок
Published: (1977)

Технология микросборок
by: Пиганов М. Н.
Published: (Самара, Самарский университет, 2020)

Линейные измерительные преобразователи температуры на базе тонкопленочных элементов; Измерительная техника; № 8
by: Власов Г. С.
Published: (2003)

Поверхностные свойства твердых тел, легированных ионной бомбардировкой
by: Касымов А. Х. Абдувахит Хусанович
Published: (Ташкент, Фан, 1987)

Особенности формирования механических характеристик покрытий из нитрида хрома при магнетронном распылении с горячей мишенью; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2022)

Паразитные связи и устойчивость аналоговых интегральных микросхем
by: Акимов Ю. С. Юрий Степанович
Published: (Москва, Радио и связь, 1984)

Диагностика поверхности ионными пучками: тезисы докладов Всесоюзного совещания - семинара 17-27 сентября
Published: (Донецк, [Б. и.], 1980)