|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
55765 |
| 005 |
20231031052736.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\58527
|
| 090 |
|
|
|a 55765
|
| 100 |
|
|
|a 20030920d1977 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Получение тонкопленочных элементов микросхем
|f Б. С. Данилин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1977
|
| 215 |
|
|
|a 136 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
|v Вып. 10
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 128-134.
|
| 610 |
1 |
|
|a микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a испарение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная бомбардировка
|
| 610 |
1 |
|
|a аппаратура
|
| 610 |
1 |
|
|a конденсация
|
| 610 |
1 |
|
|a распыления
|
| 610 |
1 |
|
|a радиоэлектроника
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030920
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150526
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
