|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
55760 |
| 005 |
20231031052733.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\58522
|
| 090 |
|
|
|a 55760
|
| 100 |
|
|
|a 20030920d1980 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники
|e пер. с англ.
|f Ч. Е. Джоветт
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 112 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 106-111.
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a толстые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a гибридные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Джоветт
|b Ч. Е.
|g Чарльз Е.
|
| 702 |
|
1 |
|a Соколов
|b Е. Б.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030920
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170704
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
