Джоветт Ч. Е. Чарльз Е. & Соколов Е. Б. (1980). Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ. Москва, Металлургия, 1980.
Chicago Style (17th ed.) CitationДжоветт Ч. Е. Чарльз Е. and Соколов Е. Б. Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ. Москва, Металлургия, 1980, 1980.
MLA (9th ed.) CitationДжоветт Ч. Е. Чарльз Е. and Соколов Е. Б. Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ. Москва, Металлургия, 1980, 1980.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.