Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: учебное пособие
| Other Authors: | |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Высшая школа, 1991
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=55717 |
| Physical Description: | 335 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 5060007316 |