Распыление меди импульсным мощным ионным пучком: структура и фазовый состав мишени и пленки

Распыление меди импульсным мощным ионным пучком: структура и фазовый состав мишени и пленки

Bibliographic Details
Parent link:Физика и химия обработки материалов/ Российская академия наук (РАН), Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова (ИМЕТ).— , 1968-
№ 1.— 2001.— С. 24-30
Other Authors: Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович, Закутаев А. Н., Матвиенко В. М. Василий Михайлович, Потемкин А. В.
Summary:Методами дифракционной электронной микроскопии и оптической металлографии проведены структурно-фазовые исследования медной мишени и тонких пленок меди, осажденных на стекло в результате воздействия на металл мощного ионного пучка (МИП). Показано, что размеры и плотность капельной фракции на пленке определяются параметрами МИП и структурным состоянием мишени. Установлено, что обработка медной мишени мощным ионным пучком сопровождается модификацией структуры и фазового состояния металла. Выявлено формирование в поверхностном слое мишени частиц графита кубической модификации с параметром кристаллической решетки a=0,4279 нм.
Published: 2001
Subjects:
труды учёных ТПУ
электронная микроскопия
тонкие пленки
исследования
методы
ионные пучки
модификация
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=546979

Similar Items

Similar Items