Модифицирование полупроводников пучками протонов

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Козловский В. В. Виталий Васильевич
Drugi avtorji:	Малкович Р. Ш. (340)
Jezik:	ruščina
Izdano:	СПб., Наука, 2003
Teme:	физика полупроводники ионно-стимулированные процессы заряженные частицы воздействия трансмутационное легирование радиационные дефекты легирование пористые слои дефектные слои
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=54402

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	54402
005	20231031050618.0
010			\|a 5020249882
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\57053
090			\|a 54402
100			\|a 20030805d2003 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Модифицирование полупроводников пучками протонов \|f В. В. Козловский
210			\|a СПб. \|c Наука \|d 2003
215			\|a 268 с. \|c ил.
320			\|a Библиография в конце глав.
610	1		\|a физика
610	1		\|a полупроводники
610	1		\|a ионно-стимулированные процессы
610	1		\|a заряженные частицы
610	1		\|a воздействия
610	1		\|a трансмутационное легирование
610	1		\|a радиационные дефекты
610	1		\|a легирование
610	1		\|a пористые слои
610	1		\|a дефектные слои
675			\|a 537.311.322:539 \|v 3
700		1	\|a Козловский \|b В. В. \|g Виталий Васильевич
702		1	\|a Малкович \|b Р. Ш. \|4 340
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20030805 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20030909 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20070411 \|g PSBO
942			\|c BK