Напыление пленок диоксида титана с помощью дуального магнетрона

Bibliografske podrobnosti
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411
Т. 50, № 9.— 2007.— С. 483-486
Glavni avtor: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Drugi avtorji: Третьяков Р. С., Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Jezik:ruščina
Izdano: 2007
Teme:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=536647

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 536647
005 20250904105339.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\225911 
090 |a 536647 
100 |a 20141118a2007 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Напыление пленок диоксида титана с помощью дуального магнетрона   |f В. П. Кривобоков, Р. С. Третьяков , Ю. Н. Юрьев  
461 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191  |x 0021-3411  |t Известия вузов. Физика  |f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет  |d 1958- 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77772  |t Т. 50, № 9  |v С. 483-486  |d 2007 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
701 1 |a Третьяков  |b Р. С. 
701 1 |a Юрьев  |b Ю. Н.  |c специалист в области водородной энергетики  |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник  |f 1984-  |g Юрий Николаевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543  |9 14839 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20141118 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160407  |g RCR 
942 |c BK