Напыление пленок диоксида титана с помощью дуального магнетрона
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 50, № 9.— 2007.— С. 483-486 |
|---|---|
| 1. autor: | |
| Kolejni autorzy: | , |
| Język: | rosyjski |
| Wydane: |
2007
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Format: | Rozdział |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=536647 |
| Nie ma specyfikacji. |