Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 2 (12).— 2014.— [С. 89-93]
Autore principale:	Вторушин С. Е. Сергей Евгеньевич
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Altri autori:	Нестеренко Т. Г. Тамара Георгиевна
Riassunto:	Заглавие с титульного листа Целью работы является определение влияния температурного воздействия на механические характеристики микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографическими ориентациями (100), (110), (111). Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели микромеханического гироскопа. В результате получены температурные зависимости собственных частот гироскопа для пяти вариантов расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине, а также определена зависимость масштабного коэффициента от температуры для наиболее температуронезависимого варианта расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине. На основе математической модели, учитывающей условие резонансной настройки по осям первичных и вторичных колебаний, получены формы выходных колебаний гироскопа.
Pubblicazione:	2014
Serie:	Инженерные науки
Soggetti:	труды учёных ТПУ электронный ресурс кристаллографическая ориентация кремниевые пластины динамические характеристики микромеханические гироскопы конечно-элементное моделирование
Accesso online:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16692
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=533057