Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа; Вестник науки Сибири; № 2 (12)
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 2 (12).— 2014.— [С. 89-93] |
|---|---|
| Autor Principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Outros autores: | |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Целью работы является определение влияния температурного воздействия на механические характеристики микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографическими ориентациями (100), (110), (111). Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели микромеханического гироскопа. В результате получены температурные зависимости собственных частот гироскопа для пяти вариантов расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине, а также определена зависимость масштабного коэффициента от температуры для наиболее температуронезависимого варианта расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине. На основе математической модели, учитывающей условие резонансной настройки по осям первичных и вторичных колебаний, получены формы выходных колебаний гироскопа. |
| Idioma: | ruso |
| Publicado: |
2014
|
| Series: | Инженерные науки |
| Subjects: | |
| Acceso en liña: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16692 |
| Formato: | Electrónico Capítulo de libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=533057 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 533057 | ||
| 005 | 20251128114030.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\prd\220557 | ||
| 035 | |a RU\TPU\prd\220554 | ||
| 090 | |a 533057 | ||
| 100 | |a 20140623d2014 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа |f С. Е. Вторушин, Т. Г. Нестеренко | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (983 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Инженерные науки | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 93 (3 назв.)] | ||
| 330 | |a Целью работы является определение влияния температурного воздействия на механические характеристики микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографическими ориентациями (100), (110), (111). Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели микромеханического гироскопа. В результате получены температурные зависимости собственных частот гироскопа для пяти вариантов расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине, а также определена зависимость масштабного коэффициента от температуры для наиболее температуронезависимого варианта расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине. На основе математической модели, учитывающей условие резонансной настройки по осям первичных и вторичных колебаний, получены формы выходных колебаний гироскопа. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\143680 |x 2226-0064 |t Вестник науки Сибири |o электронный научный журнал |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2011- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\220388 |t № 2 (12) |v [С. 89-93] |d 2014 | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a кристаллографическая ориентация | |
| 610 | 1 | |a кремниевые пластины | |
| 610 | 1 | |a динамические характеристики | |
| 610 | 1 | |a микромеханические гироскопы | |
| 610 | 1 | |a конечно-элементное моделирование | |
| 700 | 1 | |a Вторушин |b С. Е. |g Сергей Евгеньевич | |
| 701 | 1 | |a Нестеренко |b Т. Г. |c специалист в области машиностроения |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1946- |g Тамара Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26585 |9 12268 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |c (2009- ) |9 26305 |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20180112 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16692 | |
| 942 | |c BK | ||