|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
53254 |
| 005 |
20231031045103.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\55842
|
| 090 |
|
|
|a 53254
|
| 100 |
|
|
|a 20030617d1982 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур
|f Ю. А. Концевой, Ю. М. Литвинов, Э. А. Фаттахов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 239 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 215-235.
|
| 320 |
|
|
|a Предм. указ.: с. 236.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a пластичность
|
| 610 |
1 |
|
|a прочность
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a деформация
|
| 610 |
1 |
|
|a разрушение
|
| 610 |
1 |
|
|a методы исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a термообработка
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a скрайбирование
|
| 610 |
1 |
|
|a разломы
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.5
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Концевой
|b Ю. А.
|g Юлий Абрамович
|
| 701 |
|
1 |
|a Литвинов
|b Ю. М.
|g Юрий Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Фаттахов
|b Э. А.
|g Энвер Абзалевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030617
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160401
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
