Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа

Bibliographic Details
Parent link:	Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (11).— 2014.— [С. 61-65]
Main Author:	Вторушин С. Е. Сергей Евгеньевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Аршинова А. А. Алиса Андреевна, Нестеренко Т. Г. Тамара Георгиевна
Summary:	Заглавие с титульного листа Целью работы является определение характеристик влияниятемпературного воздействия на собственные частоты микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111), имеющей изотропию механических и температурных свойств во всех направлениях. Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели, имитирующей первичные колебания микромеханического гироскопа. Модель микрорезонатора, выбранная в качестве имитатора первичных колебаний микромеханического гироскопа, адекватно отражает характер колебаний массы по оси первичных колебаний. В результате получены температурные зависимости собственных частот и определены наиболее температурно-независимые моды колебаний для осциллятора, выполненного на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111).
Language:	Russian
Published:	2014
Series:	Инженерные науки
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс гироскопы температурный дрейф собственные частоты микрорезонаторы монокристаллический кремний конечно-элементное моделирование
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16309
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=530021