Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (11).— 2014.— [С. 61-65] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Authors: | , |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Целью работы является определение характеристик влияниятемпературного воздействия на собственные частоты микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111), имеющей изотропию механических и температурных свойств во всех направлениях. Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели, имитирующей первичные колебания микромеханического гироскопа. Модель микрорезонатора, выбранная в качестве имитатора первичных колебаний микромеханического гироскопа, адекватно отражает характер колебаний массы по оси первичных колебаний. В результате получены температурные зависимости собственных частот и определены наиболее температурно-независимые моды колебаний для осциллятора, выполненного на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111). |
| Published: |
2014
|
| Series: | Инженерные науки |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16309 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=530021 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 530021 | ||
| 005 | 20231220133044.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\prd\215855 | ||
| 035 | |a RU\TPU\prd\215851 | ||
| 090 | |a 530021 | ||
| 100 | |a 20140321d2014 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа |f С. Е. Вторушин, А. А. Аршинова, Т. Г. Нестеренко | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (626 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Инженерные науки | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с.65 (5 назв.)] | ||
| 330 | |a Целью работы является определение характеристик влияниятемпературного воздействия на собственные частоты микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111), имеющей изотропию механических и температурных свойств во всех направлениях. Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели, имитирующей первичные колебания микромеханического гироскопа. Модель микрорезонатора, выбранная в качестве имитатора первичных колебаний микромеханического гироскопа, адекватно отражает характер колебаний массы по оси первичных колебаний. В результате получены температурные зависимости собственных частот и определены наиболее температурно-независимые моды колебаний для осциллятора, выполненного на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111). | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\143680 |x 2226-0064 |t Вестник науки Сибири |o электронный научный журнал |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2011- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\215797 |t № 1 (11) |v [С. 61-65] |d 2014 | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a гироскопы | |
| 610 | 1 | |a температурный дрейф | |
| 610 | 1 | |a собственные частоты | |
| 610 | 1 | |a микрорезонаторы | |
| 610 | 1 | |a монокристаллический кремний | |
| 610 | 1 | |a конечно-элементное моделирование | |
| 700 | 1 | |a Вторушин |b С. Е. |g Сергей Евгеньевич | |
| 701 | 1 | |a Аршинова |b А. А. |g Алиса Андреевна | |
| 701 | 1 | |a Нестеренко |b Т. Г. |c специалист в области машиностроения |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1946- |g Тамара Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26585 |9 12268 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт неразрушающего контроля (ИНК) |b Кафедра точного приборостроения (ТПС) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18717 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт природных ресурсов (ИПР) |b Кафедра геоэкологии и геохимии (ГЭГХ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18658 |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20180112 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16309 | |
| 942 | |c BK | ||