Лазеры в микроэлектронике
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | Допущено Учебно-методическим объединением вузов по университетскоМетодические указания политехническоМетодические указания образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 651400 «Машиностроительные технологии и оборудование», специальности 150206 «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов» Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных ла- зерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка по- лупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в по- лупроводниках, модифицирование и изменение химического соста- ва поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов во- просам лазерной литографии, записи информации. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов». Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Veröffentlicht: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52373 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52373.jpg |
| Format: | Elektronisch Buch |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 52373 | ||
| 100 | |a 20250516d2012 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Лазеры в микроэлектронике |b Электронный ресурс |f Малов И. Е.,Шиганов И. Н. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МГТУ им. Н.Э. Баумана |d 2012 | ||
| 215 | |a 73 с. | ||
| 300 | |a Допущено Учебно-методическим объединением вузов по университетскоМетодические указания политехническоМетодические указания образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 651400 «Машиностроительные технологии и оборудование», специальности 150206 «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов» | ||
| 330 | |a Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных ла- зерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка по- лупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в по- лупроводниках, модифицирование и изменение химического соста- ва поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов во- просам лазерной литографии, записи информации. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов». | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a лазерная обработка | |
| 610 | 0 | |a полупроводники | |
| 610 | 0 | |a рекристаллизация | |
| 610 | 0 | |a отжиг | |
| 610 | 0 | |a поглощение лазерного излучения | |
| 610 | 0 | |a лазерный отжиг | |
| 610 | 0 | |a имплантированных слоев | |
| 610 | 0 | |a лазерное напыление | |
| 610 | 0 | |a тонких пленок | |
| 610 | 0 | |a осаждение пленок | |
| 610 | 0 | |a газовая фаза | |
| 610 | 0 | |a растворы | |
| 610 | 0 | |a фотохимический катализ | |
| 610 | 0 | |a лазерное легирование | |
| 610 | 0 | |a поверхность полупроводников | |
| 610 | 0 | |a технологические процессы | |
| 610 | 0 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 0 | |a физические основы | |
| 610 | 0 | |a подгонка электрических параметров | |
| 610 | 0 | |a размерная обработка | |
| 610 | 0 | |a микромаркировка | |
| 610 | 0 | |a цифровая запись | |
| 610 | 0 | |a аналоговая запись | |
| 610 | 0 | |a динамическая балансировка | |
| 610 | 0 | |a микродвигателей | |
| 610 | 0 | |a лазерные установки | |
| 610 | 0 | |a обработка пленок | |
| 610 | 0 | |a лазеры | |
| 610 | 0 | |a подгоночные установки | |
| 675 | |a 621.375.826(075.8) | ||
| 686 | |a 32.86 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Малов |b И. Е. | |
| 701 | 1 | |a Шиганов |b И. Н. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52373 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/52373.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/52373.jpg | ||