Лазеры в микроэлектронике
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Допущено Учебно-методическим объединением вузов по университетскоМетодические указания политехническоМетодические указания образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 651400 «Машиностроительные технологии и оборудование», специальности 150206 «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов» Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных ла- зерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка по- лупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в по- лупроводниках, модифицирование и изменение химического соста- ва поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов во- просам лазерной литографии, записи информации. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов». Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52373 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52373.jpg |
| Format: | Electronic Book |
| Physical Description: | 73 с. |
|---|---|
| Summary: | Допущено Учебно-методическим объединением вузов по университетскоМетодические указания политехническоМетодические указания образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки дипломированных специалистов 651400 «Машиностроительные технологии и оборудование», специальности 150206 «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов» Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных ла- зерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка по- лупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в по- лупроводниках, модифицирование и изменение химического соста- ва поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов во- просам лазерной литографии, записи информации. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов». Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |