Методы микрообработки

Методы микрообработки

Detalles Bibliográficos
Parent link:Технология микросистемной техники. / Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А.. Ч. 1
Autor Principal: Нарайкин О. С.
Outros autores: Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А.
Summary:Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяе- мые в технологии изготовления микросистем: объемная микрооб- работка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приве- дены сведения о материалах, применяемых в микросистемной тех- нике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специально- стей.
Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки
Publicado: Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010
Acceso en liña:http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52351
https://e.lanbook.com/img/cover/book/52351.jpg
Formato: Electrónico Libro

Títulos similares

Títulos similares