Базовые технологические процессы микросистемной техники

Базовые технологические процессы микросистемной техники

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	Нанотехнологии и микромеханика. / Потловский К. Г.. Ч. 6
Yazar:	Потловский К. Г.
Özet:	Рассмотрены основные технологические процессы про- изводства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диф- фузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника» Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки
Baskı/Yayın Bilgisi:	Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013
Konular:	технология получение монокристаллический кремний слитки метод чохральского бестигельная зонная плавка микромеханика формирование оксидные слой термическое окисление химическое осаждение газовая фаза физическое конденсация паровая ионноплазменные методы электрохимическое модификация свойства поверхности приповерхностные диффузия ионная имплантация легирование молекулярнолучевая эпитаксия газофазная фотолитография электроннолучевая литография ионнолучевая объемное травление изотропное жидкостное анизотропное сухое поверхностная механика liga-технология соединение пластин микростереолитография
Online Erişim:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52271 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52271.jpg
Materyal Türü:	Elektronik Kitap

Benzer Materyaller

Введение в микросистемную технику
Yazar:: Нарайкин О. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011)

Электронно-лучевая обработка в сварке
Yazar:: Беленький В. Я.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Пермь, ПНИПУ, 2021)

Фотоэлектрические свойства наноструктур GeSi/Si учебное пособие
Yazar:: Филатов Д. О.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2010)

Конечно-элементные пороупругие модели в биомеханике монография
Yazar:: Маслов Л. Б.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Ч. 1 : Физико-химические основы методов синтеза
Baskı/Yayın Bilgisi: (1983)

Стимулированная люминесценция светодиодных гетероструктур при возбуждении сильноточным электронным пучком
Yazar:: Цзысюань Ли
Baskı/Yayın Bilgisi: (2023)

Технология микросхем учебное пособие
Yazar:: Парфенов О. Д. Олег Дмитриевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технология полупроводниковых материалов [учебное пособие]
Yazar:: Акчурин Р. Х. Рауф Хамзинович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Изд-во МИХМ, 1985)

Технология наноструктур учебное пособие для вузов
Yazar:: Антоненко С. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Экспериментальные исследования проблем оптимизации методов эпитаксиального выращивания наноструктур III-N материалов
Yazar:: Жиленков А. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Электрооборудование кристаллизационных установок
Yazar:: Черкасов Н. М. Николай Максимович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Металлургия, 1975)

Математическое моделирование получение монокристаллов и полупроводниковых структур
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1986)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
Yazar:: Терехов А. И.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
Yazar:: Курочка С. П.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МИСИС, 2015)

LIGA-технология
Yazar:: Родионова Е. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Ч. 1
Baskı/Yayın Bilgisi: (2008)

Расчет и проектирование тиристоров пер. с англ.
Yazar:: Тейлор П. Д. Поль Д.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)

Фотоника и оптоинформатика
Yazar:: Орликов Л. Н.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, ТУСУР, 2012)

Исследование ионноплазменных покрытий на сталь 65Х13
Yazar:: Папченко А. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: ()

Вычисление интенсивности света в модельных средах учебное пособие для вузов
Yazar:: Ремизович В. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2010)

Десорбция примесей из монокристаллов кремния при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Технология полупроводниковых материалов
Yazar:: Александров С. Е.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Т. 2: Технологические аспекты
Baskı/Yayın Bilgisi: (2011)

Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
Yazar:: Рыбин Н. Б.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Рязань, РГРТУ, 2023)

Введение в современную микро-и наносистемную технику учебное пособие
Yazar:: Гридчин А. В. Александр Викторович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Процессы и оборудование микротехнологии учебное пособие
Yazar:: Цветков Ю. Б.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2018)

Основы технологии электронной компонентной базы: моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов учебно-методическое пособие
Yazar:: Рабинович О. И.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МИСИС, 2012)

Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям
Yazar:: Орликов Л. Н.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, ТУСУР, 2012)

Потенциал Гиббса и граничное условие термодинимического равновесия при фазовом переходе первого рода в изитропном твердом теле
Yazar:: Кочкин А. П.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Оборудование полупроводникового производства учебное пособие для вузов
Yazar:: Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Машиностроение, 1986)

Т. 1: Однократное рассеяние и теория переноса
Baskı/Yayın Bilgisi: (1981)

Магнитоэлектрический эффект в молибдате самария
Baskı/Yayın Bilgisi: (2002)

Микромеханика разрушения полимерных материалов
Yazar:: Тамуж В. П. Витаут Петрович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Рига, Зинатне, 1978)

Окисление дефенила закисью азота на цеолитах MFI
Yazar:: Иванов Д. П.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Формирование микродефектной структуры полупроводникового кремния
Yazar:: Таланин В. И.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Ультразвуковой капиллярный эффект
Yazar:: Прохоренко П. П. Петр Петрович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Минск, Наука и техника, 1981)

Газофазная микрометаллургия полупроводников
Yazar:: Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Металлургия, 1974)

Влияние магнитного поля на стартовые напряжения и подвижность индивидуальных дислокаций в кремнии
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)

Solar Power Installation for the Territory of Siberia
Yazar:: Boyakhchyan A. Arman
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Об одной модели малогабаритного линейного акселерометра
Yazar:: Увакин В. Ф.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)