Базовые технологические процессы микросистемной техники

Базовые технологические процессы микросистемной техники

Bibliografische gegevens
Parent link:	Нанотехнологии и микромеханика. / Потловский К. Г.. Ч. 6
Hoofdauteur:	Потловский К. Г.
Samenvatting:	Рассмотрены основные технологические процессы про- изводства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диф- фузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника» Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки
Gepubliceerd in:	Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013
Onderwerpen:	технология получение монокристаллический кремний слитки метод чохральского бестигельная зонная плавка микромеханика формирование оксидные слой термическое окисление химическое осаждение газовая фаза физическое конденсация паровая ионноплазменные методы электрохимическое модификация свойства поверхности приповерхностные диффузия ионная имплантация легирование молекулярнолучевая эпитаксия газофазная фотолитография электроннолучевая литография ионнолучевая объемное травление изотропное жидкостное анизотропное сухое поверхностная механика liga-технология соединение пластин микростереолитография
Online toegang:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52271 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52271.jpg
Formaat:	Elektronisch Boek

Gelijkaardige items

Введение в микросистемную технику
door: Нарайкин О. С.
Gepubliceerd in: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011)

Электронно-лучевая обработка в сварке
door: Беленький В. Я.
Gepubliceerd in: (Пермь, ПНИПУ, 2021)

Фотоэлектрические свойства наноструктур GeSi/Si учебное пособие
door: Филатов Д. О.
Gepubliceerd in: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2010)

Ч. 1 : Физико-химические основы методов синтеза
Gepubliceerd in: (1983)

Конечно-элементные пороупругие модели в биомеханике монография
door: Маслов Л. Б.
Gepubliceerd in: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Стимулированная люминесценция светодиодных гетероструктур при возбуждении сильноточным электронным пучком
door: Цзысюань Ли
Gepubliceerd in: (2023)

Технология микросхем учебное пособие
door: Парфенов О. Д. Олег Дмитриевич
Gepubliceerd in: (Москва, Высшая школа, 1986)

Технология наноструктур учебное пособие для вузов
door: Антоненко С. В.
Gepubliceerd in: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Технология полупроводниковых материалов [учебное пособие]
door: Акчурин Р. Х. Рауф Хамзинович
Gepubliceerd in: (Москва, Изд-во МИХМ, 1985)

Экспериментальные исследования проблем оптимизации методов эпитаксиального выращивания наноструктур III-N материалов
door: Жиленков А. А.
Gepubliceerd in: (2017)

Электрооборудование кристаллизационных установок
door: Черкасов Н. М. Николай Максимович
Gepubliceerd in: (Москва, Металлургия, 1975)

Математическое моделирование получение монокристаллов и полупроводниковых структур
Gepubliceerd in: (Москва, Наука, 1986)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
door: Терехов А. И.
Gepubliceerd in: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
door: Курочка С. П.
Gepubliceerd in: (Москва, МИСИС, 2015)

Ч. 1
Gepubliceerd in: (2008)

LIGA-технология
door: Родионова Е. А.
Gepubliceerd in: (2009)

Расчет и проектирование тиристоров пер. с англ.
door: Тейлор П. Д. Поль Д.
Gepubliceerd in: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)

Фотоника и оптоинформатика
door: Орликов Л. Н.
Gepubliceerd in: (Москва, ТУСУР, 2012)

Вычисление интенсивности света в модельных средах учебное пособие для вузов
door: Ремизович В. С.
Gepubliceerd in: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2010)

Исследование ионноплазменных покрытий на сталь 65Х13
door: Папченко А. В.
Gepubliceerd in: ()

Десорбция примесей из монокристаллов кремния при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке
Gepubliceerd in: (2004)

Технология полупроводниковых материалов
door: Александров С. Е.
Gepubliceerd in: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Т. 2: Технологические аспекты
Gepubliceerd in: (2011)

Введение в современную микро-и наносистемную технику учебное пособие
door: Гридчин А. В. Александр Викторович
Gepubliceerd in: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
door: Рыбин Н. Б.
Gepubliceerd in: (Рязань, РГРТУ, 2023)

Процессы и оборудование микротехнологии учебное пособие
door: Цветков Ю. Б.
Gepubliceerd in: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2018)

Основы технологии электронной компонентной базы: моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов учебно-методическое пособие
door: Рабинович О. И.
Gepubliceerd in: (Москва, МИСИС, 2012)

Оборудование полупроводникового производства учебное пособие для вузов
door: Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Gepubliceerd in: (Москва, Машиностроение, 1986)

Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям
door: Орликов Л. Н.
Gepubliceerd in: (Москва, ТУСУР, 2012)

Потенциал Гиббса и граничное условие термодинимического равновесия при фазовом переходе первого рода в изитропном твердом теле
door: Кочкин А. П.
Gepubliceerd in: (2004)

Т. 1: Однократное рассеяние и теория переноса
Gepubliceerd in: (1981)

Магнитоэлектрический эффект в молибдате самария
Gepubliceerd in: (2002)

Окисление дефенила закисью азота на цеолитах MFI
door: Иванов Д. П.
Gepubliceerd in: (2004)

Формирование микродефектной структуры полупроводникового кремния
door: Таланин В. И.
Gepubliceerd in: (2004)

Ультразвуковой капиллярный эффект
door: Прохоренко П. П. Петр Петрович
Gepubliceerd in: (Минск, Наука и техника, 1981)

Микромеханика разрушения полимерных материалов
door: Тамуж В. П. Витаут Петрович
Gepubliceerd in: (Рига, Зинатне, 1978)

Газофазная микрометаллургия полупроводников
door: Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Gepubliceerd in: (Москва, Металлургия, 1974)

Об одной модели малогабаритного линейного акселерометра
door: Увакин В. Ф.
Gepubliceerd in: (2003)

Effect of the anisotropy of monocrystalline silicon mechanical properties on the dynamic characteristics of a micromechanical gyroscope
Gepubliceerd in: (2015)

Влияние магнитного поля на стартовые напряжения и подвижность индивидуальных дислокаций в кремнии
Gepubliceerd in: (2003)