Базовые технологические процессы микросистемной техники

Bibliographic Details
Parent link:	Нанотехнологии и микромеханика. / Потловский К. Г.. Ч. 6
Main Author:	Потловский К. Г.
Summary:	Рассмотрены основные технологические процессы про- изводства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диф- фузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника» Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки
Published:	Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013
Subjects:	технология получение монокристаллический кремний слитки метод чохральского бестигельная зонная плавка микромеханика формирование оксидные слой термическое окисление химическое осаждение газовая фаза физическое конденсация паровая ионноплазменные методы электрохимическое модификация свойства поверхности приповерхностные диффузия ионная имплантация легирование молекулярнолучевая эпитаксия газофазная фотолитография электроннолучевая литография ионнолучевая объемное травление изотропное жидкостное анизотропное сухое поверхностная механика liga-технология соединение пластин микростереолитография
Online Access:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52271 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52271.jpg
Format:	Electronic Book

Description
Physical Description:	64 с.
Summary:	Рассмотрены основные технологические процессы про- изводства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диф- фузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника» Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки
ISBN:	978-5-7038-3729-0

Базовые технологические процессы микросистемной техники

Similar Items